COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺桿真空泵，以無(wú)油潔凈技術(shù)與超強(qiáng)性能，成為平板顯示器生產(chǎn)中 Load lock 腔體的理想搭檔，為高要求真空工藝保駕護(hù)航。?
核心優(yōu)勢(shì)，一眼看透?
無(wú)油潔凈，杜絕污染：全干式設(shè)計(jì)，無(wú)潤(rùn)滑油參與壓縮，徹底避免油霧污染，完美適配平板顯示生產(chǎn)中對(duì)玻璃基板、OLED 材料等的超高潔凈要求，保障薄膜沉積、鍍膜等工藝的良品率。?
超強(qiáng)抽速，提升效率：集成羅茨增壓泵，抽速高達(dá) 7000 - 7385 m3/h，極限壓力低至 0.001 hPa，快速實(shí)現(xiàn) Load lock 腔體的真空循環(huán)，加速基板傳輸節(jié)拍，顯著提升產(chǎn)線效率。?
抗造耐用，減少維護(hù)：螺桿轉(zhuǎn)子抗顆粒、耐腐蝕，輕松應(yīng)對(duì)工藝中的粉塵、溶劑蒸汽等，配合長(zhǎng)效潤(rùn)滑技術(shù)，大幅延長(zhǎng)維護(hù)間隔，降低停機(jī)損失。?
緊湊靈活，便捷集成：模塊化設(shè)計(jì)節(jié)省空間，可快速安裝到 Load lock 腔體等狹窄位置，適配各類生產(chǎn)線布局，降低改造難度。

        COBRA DS 8162/8163 B/F干式螺桿真空泵

適用于高要求工藝的新一代干式真空泵

          技術(shù)規(guī)格

                    ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz

尺寸圖

COBRA DS 8162/8163 B/F

抽速

空氣溫度為 20°C 時(shí)， 公差：± 10%

一、市場(chǎng)地位與行業(yè)趨勢(shì)

· 高增長(zhǎng)領(lǐng)域主導(dǎo)者：在平板顯示器（LCD/OLED/QLED）及光伏產(chǎn)業(yè)的潔凈真空需求爆發(fā)背景下，Busch 作為真空技術(shù)，其COBRA DS 系列干式螺桿真空泵憑借性能成為半導(dǎo)體級(jí)精密制造（含 FPD）的主流選擇。尤其在Load Lock 腔體真空系統(tǒng)細(xì)分市場(chǎng)中，該系列憑借高抽速、模塊化設(shè)計(jì)及抗污染能力占據(jù)地位。

· 潔凈生產(chǎn)剛性需求：隨著面板尺寸增大（如 8.5 代 / 10.5 代線普及）及工藝復(fù)雜度提升（如 OLED 多層薄膜沉積、量子點(diǎn)封裝），超高潔凈度、低顆粒污染及快速真空循環(huán)成為 Load Lock 系統(tǒng)的核心要求。傳統(tǒng)油封泵因油霧污染良率、維護(hù)頻繁等缺陷逐漸被淘汰，干式螺桿真空泵成為行業(yè)升級(jí)的技術(shù)。

· 成本效益驅(qū)動(dòng)選擇：DS 系列通過(guò)超長(zhǎng)維護(hù)間隔（精密軸承 + PFPE 潤(rùn)滑技術(shù)）、變頻節(jié)能設(shè)計(jì)及模塊化集成，顯著降低運(yùn)維與能耗成本，滿足 FPD 產(chǎn)線大規(guī)模部署的經(jīng)濟(jì)性需求。 FPD 真空設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)張，Busch 憑借成熟驗(yàn)證的半導(dǎo)體工藝經(jīng)驗(yàn)與本地化服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，持續(xù)市場(chǎng)份額增長(zhǎng)。

二、核心應(yīng)用場(chǎng)景：Load Lock 腔體的關(guān)鍵價(jià)值

在平板顯示器生產(chǎn)中，Load Lock 腔體（負(fù)載鎖室）是連接大氣環(huán)境與高真空工藝腔室的核心緩沖單元，其核心功能包括：

1. 物料傳輸：快速抽真空與充壓，實(shí)現(xiàn)玻璃基板、晶圓等物料在大氣端與高真空鍍膜 / 刻蝕 / 沉積腔室間的轉(zhuǎn)運(yùn)，大幅縮短節(jié)拍時(shí)間，提升產(chǎn)能。

2. 潔凈隔離保障：避免工藝腔室頻繁暴露大氣引入顆粒污染或氧化風(fēng)險(xiǎn)，確保薄膜（如 TFT 電極、OLED 發(fā)光層、偏光片）的純凈度與均一性。

3. 氣體 / 溶劑兼容處理：耐受鍍膜工藝尾氣中的腐蝕性氣體（如硅烷、氟化物）、有機(jī)溶劑蒸汽（如 PGMEA）及工藝顆粒（粉塵 / 聚合物碎屑）。

COBRA DS 8162/8163 B/F 真空泵是 Load Lock 腔體的理想解決方案，深度匹配其嚴(yán)苛要求：

三、Load Lock 腔體適配的核心優(yōu)勢(shì)解析

1. 超高抽速與快速循環(huán)能力

· 集成羅茨增壓泵設(shè)計(jì)：真空泵與羅茨真空助力器一體化集成于同一底座，實(shí)現(xiàn)行業(yè)的抽速性能（DS 8162 F：7,000 m³/h；DS 8163 B：7,385 m³/h），并將極限壓力降至 0.001 hPa。這一設(shè)計(jì)顯著縮短 Load Lock 腔體的抽氣時(shí)間（從大氣壓至工藝真空），加速玻璃基板傳輸節(jié)拍，直接提升整線生產(chǎn)效率。

· 寬工況穩(wěn)定抽速：即使在高氫氣吞吐量（如光伏鍍膜尾氣）、高溶劑蒸汽（PGMEA 溶劑回收）或含顆粒氣體工況下，仍保持強(qiáng)勁抽速輸出，適應(yīng)原子層沉積（ALD）、快速熱處理（RTP）等復(fù)雜 Load Lock 切換需求。

2. 革命性干式無(wú)油設(shè)計(jì) —— 潔凈工藝的核心保障

· 全干式腔體油污染：螺桿轉(zhuǎn)子采用單件鑄造無(wú)間隙結(jié)構(gòu)，壓縮腔內(nèi)完全無(wú)潤(rùn)滑油參與，消除油霧顆粒對(duì)玻璃基板表面或薄膜層的污染風(fēng)險(xiǎn)，嚴(yán)格滿足光刻膠涂布、薄膜沉積等超高潔凈 Load Lock 工藝要求。

· 抗污染耐受性：

· 防顆粒侵入設(shè)計(jì)：工藝氣體中的粉塵、聚合物碎屑或反應(yīng)副產(chǎn)物（如刻蝕殘?jiān)┛蔁o(wú)阻礙通過(guò)泵體排出，避免沉積損傷內(nèi)部組件，延長(zhǎng)使用壽命。

· 溶劑 / 腐蝕性氣體兼容：間接水冷系統(tǒng)優(yōu)化溫控（適應(yīng)溶劑蒸汽冷凝工況），可選防腐涂層或特殊密封材料（針對(duì)腐蝕性氣體如 CF?/O? 混合尾氣），確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行于 OLED 蒸發(fā)、TFT 刻蝕等腐蝕性 Load Lock 環(huán)境。

3. 緊湊靈活的模塊化架構(gòu) —— 空間與集成的解

· 就地安裝（Fit-in-Place）設(shè)計(jì)：優(yōu)化結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)快速集成至現(xiàn)有 Load Lock 系統(tǒng)狹窄空間，減少改造停機(jī)時(shí)間。羅茨泵與前級(jí)泵組合于單一底座，顯著節(jié)省占地面積，特別適配高容量 Load Lock 腔體集群或連續(xù)鍍膜線的緊湊布局要求。

· 即插即用兼容性：標(biāo)準(zhǔn)化接口與控制協(xié)議便于無(wú)縫對(duì)接自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)（AMHS）或上位機(jī)監(jiān)控平臺(tái)，支持變頻調(diào)速（按需選配），動(dòng)態(tài)匹配 Load Lock 頻繁啟停與變工況需求，進(jìn)一步降低能耗與運(yùn)維復(fù)雜度。

4. 低運(yùn)維成本與高可靠性 —— 全周期價(jià)值最大化

· 超長(zhǎng)維護(hù)間隔與耐用性：精密軸承技術(shù)結(jié)合 PFPE 特種潤(rùn)滑脂大幅降低磨損，延長(zhǎng)保養(yǎng)周期（顯著減少人工干預(yù)與耗材更換），減少計(jì)劃外停機(jī)損失，最大化設(shè)備。

· 智能能效與靜音運(yùn)行：電機(jī)配合可選變頻控制優(yōu)化能耗；專利自平衡螺桿設(shè)計(jì)抑制振動(dòng)，噪音等級(jí) ≤ 78 dB(A)，改善潔凈室操作環(huán)境舒適性，符合靜音生產(chǎn)規(guī)范。

· 全生命周期支持：Busch 覆蓋安裝調(diào)試、預(yù)防性維護(hù)到遠(yuǎn)程監(jiān)控的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，根據(jù)具體 Load Lock 工藝氣體特性（顆粒 / 腐蝕性負(fù)載）定制解決方案，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

四、典型應(yīng)用場(chǎng)景舉例

1. LCD 面板制造：玻璃基板進(jìn)出高真空鍍膜腔體（如 ITO 透明導(dǎo)電層、濾色片蒸鍍）的 Load Lock 抽氣，確保薄膜均一性與良率。

2. OLED 柔性顯示：阻隔大氣水汽 / 氧氣侵入蒸發(fā)腔室，保障有機(jī)發(fā)光層材料純凈度，支持柔性基板快速轉(zhuǎn)運(yùn)的真空循環(huán)。

3. 光伏太陽(yáng)能電池片產(chǎn)線：硅片制絨、擴(kuò)散、鍍膜工藝間的 Load Lock 傳輸（如 TOPCon/HJT 電池片雙面鍍膜），耐受氫氣、氨氣等高吞吐量氣體環(huán)境。

4. 光學(xué) / 電子器件封裝：精密光學(xué)元件（鏡頭 / 濾光片）、傳感器芯片硬質(zhì)涂層（DLC 類金剛石）等對(duì)潔凈度敏感的 Load Lock 真空環(huán)節(jié)。

五、為什么 Busch COBRA DS 是 Load Lock 的？

· 行業(yè)標(biāo)桿驗(yàn)證：Busch 在半導(dǎo)體及 FPD 精密制造領(lǐng)域擁有大量成熟安裝案例，COBRA DS 系列通過(guò)嚴(yán)苛工藝環(huán)境驗(yàn)證，是高潔凈真空可靠性的代名詞。

· 定制化工藝適配：針對(duì) Load Lock 具體氣體成分（腐蝕性 / 顆粒負(fù)載）與空間限制，提供專屬防腐方案或模塊化集成設(shè)計(jì)，保障系統(tǒng)長(zhǎng)期無(wú)故障運(yùn)行。

· 優(yōu)化：低維護(hù)、長(zhǎng)壽命、高能效及高產(chǎn)線效率提升（抽速驅(qū)動(dòng)節(jié)拍加速）綜合降低單位基板生產(chǎn)成本，契合 FPD 行業(yè)大規(guī)模、成本敏感型生產(chǎn)特征。

結(jié)語(yǔ)

Busch COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺桿真空泵憑借超高抽速集成設(shè)計(jì)、革命性無(wú)油潔凈技術(shù)、緊湊模塊化架構(gòu)及全周期可靠性，成為平板顯示器生產(chǎn) Load Lock 腔體真空解決方案的黃金標(biāo)準(zhǔn)。無(wú)論是加速 TFT-LCD 鍍膜節(jié)拍、保障 OLED 材料純凈度，還是優(yōu)化光伏電池片轉(zhuǎn)運(yùn)效率，它都通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新與工藝?yán)斫獾纳疃热诤?，為精密制造提供?jiān)實(shí)的真空基石。選擇 COBRA DS 系列，即是選擇產(chǎn)能提升、良率保障與成本可控的未來(lái)。

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